环氧乙烷灭菌过程中时必须合理选择四要素：温度、湿度、浓度和时间参数。温度升高、浓度增加，灭菌时间缩短。环氧乙烷灭菌程序包括预热–预混直穴通人化领石定浓度维持灭菌效果。 环氧乙烷消毒灭菌过程装载要求灭菌柜内应上下留有空隙，灭菌物品不能接触柜壁，物品装载量不能超过柜内的80%，平放物品不能上下堆积。包内放环氧乙烷化学指示卡，包外贴环氧乙烷化学指示胶带。口罩纸塑包装灭菌有效期是2年。
EO灭菌过程加湿起到的作用
环氧乙烷灭菌加湿的作用是，可以提高灭菌的效果，温度一般在30~70之间，温度与灭菌效果正相关，但不宜太高，因为环氧乙烷灭菌的优势就是低温灭菌；湿度一般在30~80RH，大于30RH后，湿度增加不会明显改善灭菌效果。
环氧乙烷的灭菌机制是通过其与微生物发生非特异性烷基化作用，从而抑制微生物反应基的正常功能，使其新陈代谢发生障碍而死亡。环氧乙烷的灭菌效果，与灭菌室内的温度、压力、湿度及环氧乙烷的浓度有关，这些工艺参数在适当的数值上，可以缩短灭菌时间，达到及好的灭菌效果。
口罩环氧乙烷灭菌温度设定
因此，灭菌器的工作过程首先对灭菌室加温，直到温度达到预定的灭菌温度；温度一般在30~70度之间，温度与灭菌效果正相关，但不宜太高，因为环氧乙烷灭菌的优势就是低温灭菌； EO浓度实际操400~800mg/l的居多，浓度越高灭菌效果越好，时间可越短；然后，灭菌室抽真空，当达到预定的真空度后，开始对灭菌室加药；在上述过程结束后，定时钟开始工作，灭菌过程开始；在整个灭菌过程中需保持恒温状态；当灭菌时间到，则开始对灭菌室进行换气，即用经过滤后的清洁空气置换灭菌室内的残余环氧乙烷气体，将残气排出;残气经废气处理系统处理后排放。至此，整个灭菌过程结束。
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